ソーラーアプリケーション
薄膜太陽光発電
薄膜太陽光発電(Thin-film photovoltaics、TFPV)はシリコンウエハーで出来た製品に代わる安価な方法として開発されました。 TFPVの3つの主なカテゴリーはそれらのアクティブ層の材質にちなみ以下のように名付けられています。 薄シリコン、II-VI(主にCdTe)、CIGC(二硫化銅・インジウム・ガリウム、セレン化物(copper indium gallium selenide)。 これらの層が、アクティブ層として、基板(通常ガラスあるいは金属)上の透明導電性酸化物上に積層されます。
アクティブ層の測定
アクティブ層の膜厚と組成を適切にする事は重要です。 薄すぎると効率と耐久性が落ち、厚すぎるとコストが上がります。 組成が適切でないと効率と製造上の生産性が大きく落ちます。
フィルメトリクスのF20は数十社のTFPVメーカーで使用され、3つの全てのタイプの層の膜厚と光学定数の測定に活躍しています。 TCO上のアクティブ層の測定において、フィルメトリクス社は社内製、またはガラスメーカー製に関わらず、単一及び複層TCOの特性評価に豊富な経験を有しています。
その他のプロセスフィルム
アクティブ層とTCOスタックの他にもTFPVの製造に良く使用される薄膜があります。 その例としては、セルと電極を形作るポリイミド、レジストや、反射防止コーティングがあります。 どの場合でも、フィルメトリクスでは 卓上タイプ、マッピング、インラインタイプを用意してご用命にお応えしています。
貴社ソーラーアプリケーションへのご活用はお問い合わせフォームで当社技術者へお問い合わせ下さい。 フィルメトリクスでは無料サンプルの測定を行っています。 - 結果は通常1~2日です。お問い合わせ
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アモルファスとポリシリコン
膜厚測定、結晶化度、全てのアモルファスとポリシリコンの屈折率と消衰係数
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CMP
F80膜厚測定システムは、酸化物、STI、金属CMPプロセスの測定に使用されています。
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誘電体
フィルメトリクスは産業界で使用される数千もの誘導体膜の測定システムを取り揃えています。
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ハードコート厚
フィルメトリクスのシステムはハードコートやプライマー厚を測定する自動車業界で幅広く使用されています。
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IC故障解析
F3-s1550はシリコンの裏面シニング測定をするチップ産業で使用されています。
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ITOとその他のTCO
当社独自の解析アルゴリズムにより、TCO厚、屈折率、消衰係数の測定が測定ボタン一つで可能です。
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医療デバイス
血管形成バルーン、ステント、インプラントコーティング、その他多数の膜厚を測定します。
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金属膜厚測定
金属膜の膜厚、屈折率、消衰係数を50nmまで測定します。
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OLED
NPB、lQ3、PEDOT、P3HT、soluble Teflons等の膜厚と屈折率を測定します。
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眼鏡コーティング
F10-ARで屈折率、色、反射防止、ハードコート層厚の測定が可能です。
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Paryleneコーティング
ParyleneコーティングサンプルをF3-CSのステージ上に置くだけで膜厚の測定が可能です。
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フォトレジスト
当社は数十もの異なるレジストを測定しており、屈折率ファイルもお使いのレジストに応じて作成できます。
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多孔質シリコン
多孔質シリコン膜の膜厚、多孔率、屈折率、消衰係数を測定します。
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プロセス膜
フィルメトリクスは半導体プロセス膜の測定用に完全なシステムを取り揃えています。
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屈折率と消衰係数
190-1700nm範囲の屈折率と消衰係数を測定
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シリコンウエハーと膜
フィルメトリクスはシリコンを2mm厚まで測定する為の卓上、マッピング、製造システムを取り揃えています。
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ソーラーアプリケーション
CdTe、CdS、CIGS、アモルファスシリコン、TCO、反射防止層、その他の膜厚を測定します。
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半導体教育研究機関
50台以上のF20が大学機関研究所で使用されています。
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ウェブコーティング
フィルメトリクスのシステムはインラインのポリマー膜厚測定用に幅広く使用されています。
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