OLEDディスプレイ測定
有機発光ダイオード(OLED)
OLEDは研究機関から製造現場へ急速に開発が進んでいます。その明度、超薄でダイナミックな特性により、携帯電話機からテレビまで様々なディスプレイ用途に用いられています。このようなディスプレイを司る多くの薄膜の計測学は非常に重要であり、比較的やわらかい層にダメージを与えてしまう可能性のある伝統的な接触形状測定に頼るには重大過ぎます。当社のF20-UV、F40-UV、PARTS-UVは経済的でありながら、簡易なプロトタイプシステムで完全画素化した非侵襲計測システムです。当社のシステムは分光器でもあり、これらの大気作用に繊細な材質に起こる化学変化 もまた検出することが出来ます。
アプリケーションカタログをリクエストする透明導電酸化物測定
お使いの膜がITO、酸化亜鉛、若しくはポリマー(3,4-エチレン酸化チオフェン)でも当社独自の可視近赤外線システムは膜厚と光学定数の両方を分光エリプソメーターのほんのわずかなコストと操作のみで測定することが可能です。
複雑な有機材料の測定
典型的なOLEDは正孔注入層、正孔輸送層、再結合/発光層などいくつもの特定層が必要とされます。これら全ての層は微小分子又はポリマーのような独特の有機分子を含んでいます。このような材質を扱うのは、その異常光学分散により分光反射率には困難なものとなりえます。しかしフィルメトリクスには問題ではありません。当社のマテリアルデータベースはOLEDの初めまで戻ることが出来、これら分子に起こる高分散指数や複数UV特性を扱うことが出来ます。
柔軟な基板上の膜
OLEDは真に柔軟なディスプレイを可能にします。これにはPETのような高い複屈折基板上の測定が必要とされます。この光学的複雑さをモデルにするか、PETの裏面をサンドペーパーで削ならければならないため、エリプソメトリーのような計測方法には深刻な問題を引き起こします。これらの方法には当社の非分極分光反射率が必要とされます。これによりユーザーのトレーニングや測定サイクル時間の大幅な時間短縮が可能です。
グローブボックス内の測定
OLEDの材料は水や酸素に非常に繊細です。多くの研究グループは乾燥N2グローブボックスの制御された環境内部の測定が必要です。当社システムとそれら分子の微小フォーム要素、ファイバー光学デザインで破嚢されていない機器の”ボックス内”の測定を簡単にリアルタイムで行うことが出来ます。
フィルメトリクスはOLED膜サンプルの無料お試し測定を行っています。結果は通常1~2日です。 お問い合わせフォームで貴社のディスプレイ材料やOLED測定用途について当社技術者へご相談下さい。
測定例
このサンプルではガラス上のAlq3の膜厚測定を行いました。フィルメトリクスのシステムにより、紫外線領域で複雑な光学挙動を含む有機物も容易に測定可能です。このシステムは (接触形状測定と比べ) 非破壊方法も用いるだけでなく、このようなOLED膜の化学変化を観察することが可能です。17ミクロンスポットサイズF40-UVシステムで高解像度結果を得る事が出来ました。黒い四角内でこのスペクトルに一致する箇所はビデオ画像で示されました。シングルピクセル内での複数OLED膜の測定は、このようなセットアップで可能となります。測定セットアップ:
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アモルファスとポリシリコン
膜厚測定、結晶化度、全てのアモルファスとポリシリコンの屈折率と消衰係数
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CMP
F80膜厚測定システムは、酸化物、STI、金属CMPプロセスの測定に使用されています。
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誘電体
フィルメトリクスは産業界で使用される数千もの誘導体膜の測定システムを取り揃えています。
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ハードコート厚
フィルメトリクスのシステムはハードコートやプライマー厚を測定する自動車業界で幅広く使用されています。
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IC故障解析
F3-s1550はシリコンの裏面シニング測定をするチップ産業で使用されています。
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ITOとその他のTCO
当社独自の解析アルゴリズムにより、TCO厚、屈折率、消衰係数の測定が測定ボタン一つで可能です。
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血管形成バルーン、ステント、インプラントコーティング、その他多数の膜厚を測定します。
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OLED
NPB、lQ3、PEDOT、P3HT、soluble Teflons等の膜厚と屈折率を測定します。
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当社は数十もの異なるレジストを測定しており、屈折率ファイルもお使いのレジストに応じて作成できます。
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多孔質シリコン
多孔質シリコン膜の膜厚、多孔率、屈折率、消衰係数を測定します。
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プロセス膜
フィルメトリクスは半導体プロセス膜の測定用に完全なシステムを取り揃えています。
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シリコンウエハーと膜
フィルメトリクスはシリコンを2mm厚まで測定する為の卓上、マッピング、製造システムを取り揃えています。
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50台以上のF20が大学機関研究所で使用されています。
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フィルメトリクスのシステムはインラインのポリマー膜厚測定用に幅広く使用されています。
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