光学式膜厚測定の原理を理解しよう

膜厚測定の謎にスポットライトを当てます。

人間の髪の毛の細さよりも薄い膜をどのように測定するのでしょうか？それを理解するためのガイドブック”膜厚測定の謎を解く”を作成しました。薄膜の成膜、測定、使用に関わる全ての方に、このガイドブックは必読です。

薄膜測定原理ガイドをリクエストする

測定技術をわかりやすく解説しています。

膜に光を照射し反射して戻って来た光をある波長範囲で分光分析することにより測定する―フィルメトリクスが採用しているこの分光反射率法の技術を皆様にわかりやすく解説しています。また、その他の測定法であるエリプソメトリーや、接触式段差計と比べた利点についても解説しています。