膜厚測定製品

当社製品は多種多様な薄膜アプリケーションで使われております。ご要望に合わせ、最適且つ柔軟な運用が可能なシステムをご提案致し ます。

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シングルポイント膜厚測定

膜厚と屈折率を測定する卓上式膜厚測定システム。研究開発から品質管理まで幅広い用途にお使い頂けます。

数nmから数ミリまで幅広い膜厚対応。

  • F20 F20

    世界中でベストセラーを誇る卓上膜厚測定システム。広範な測定範囲と豊富なアクセサリーでお客様のご要望に対応。

  • F3-sX F3-sX

    F3-sXは厚み3mmまでの半導体や誘電体の膜を測定可能です。

  • F10-ARc F10-ARc

    レンズやその他の局面の反射率の測定。ハードコート厚測定オプションあり。

  • F10-RT F10-RT

    反射率と透過率を同時に測定。オプションで膜厚と屈折率の測定も可能。真空コーティング用途で使用多数。

  • F10-HC F10-HC

    ハードコートや曇り止め層の膜厚と屈折率を測定。自動車業界やその他の産業でポリカーボネート上のハードコートの測定に使用多数。

  • F3-CS F3-CS

    微小視野、微小試料の測定を提供する。

  • F10-AR F10-AR

    眼鏡レンズや曲面の反射率を測定。オプションでハードコート膜厚、透過率の測定も可能。

顕微鏡微小視野膜厚測定

最小1umの顕微スポットの膜厚と屈折率の測定が可能。

汎用の顕微鏡にも接続可能。当社顕微鏡ユニットは紫外から近赤外領域に対応。

  • F40 F40

    お持ちの顕微鏡に取り付け、最小1umの微小サイズの膜厚と屈折率の測定が可能。

自動マッピング測定システム

ほぼどの形のサンプルでも膜厚と屈折率を完全自動マッピング。マニュアルタイプ、ロボットタイプシステム両方を取り揃えています。

  • F50 F50

    F50シリーズに自動マッピング機能を付加。膜厚と屈折率は毎秒2ポイント測定し、マッピング可能。

  • F54 F54

    最大直径450mm面積のマッピング測定と1秒間に２ヶ所の高速測定が対応可能。

  • F60-t F60-t

    製造現場仕様の卓上膜厚マッピングシステム。リファレンス、ノッチ検出、インターロックカバーその他を搭載。

  • F54-XY F54-XY

    PRODUCTS_F54_XY

  • F60-c F60-c

    F60-cのカセット-ツウ-カセット版。

インライン膜厚監視

製造中の移動膜の厚さをモニター、コントロール。 100Hzほどのサンプル率は複数測定箇所で可能です。

  • F30 F30

    MOCVD、スパッタリング等ほぼ全てのデポジションプロセス中に反射率、膜厚、デポジション率を測定。

アクセサリー

豊富なアクセサリーで多用な用途にお応えします