F54

顕微鏡式自動マッピング膜厚測定システム

F54は、高精度膜厚測定と高速自動ステージを兼ね備えた自動マッピング膜厚測定システムです。 長寿命 R-Θ モーター駆動ステージとオプションチャックを組み合わせることで、2インチから最大450mmまでのウエハーに対応できて、2箇所の測定時間を1秒以内に短縮できる高速測定も実現しました。

同心円、長方形、線形など任意に測定箇所を設定可能です。 基本的なコンピューターの知識さえあれば誰でも簡単に測定することができます。

パソコンにUSB接続するだけで装置のセットアップは数分で完了。

膜厚など膜の特性に応じて、最適な機種をお選びいただけます。 短い波長の製品群(F54-UV, F54)は薄い膜の測定に、長い波長の製品群(F54-NIR, F54-EXR)は厚膜もしく粗さがあるサンプルの測定に適しています。