付属品:
- 光源一体型分光器ユニット
- FILMeasure8膜厚解析ソフトウエア
- FILMeasure単独ソフトウェア
- Cマウント取付 顕微鏡アダプター
- 光ファイバーケーブル
- BK7 リファレンスサンプル
- TS-Focus-SiO2-4-10000 フォーカス合わせ/膜厚標準サンプル
- BG-Microscope バックグランド用
モデル仕様
機種 | 膜厚測定範囲* | 波長範囲 |
---|---|---|
F40 | 20nm-40µm | 400-850nm |
F40-EXR | 20nm-120µm | 400-1700nm |
F40-NIR | 40nm-120µm | 950-1700nm |
F40-UV | 4nm-40µm | 190-1100nm |
F40-UVX | 4nm-120µm | 190-1700nm |
膜厚測定範囲*
特典:
- 130種類以上のマテリアルライブラリ
- アプリケーションエンジニアのサポート
- インターネットサポート
- ハードウェアのアップグレードプログラム