F50、F60用チャック

各種ウエハーサイズのチャック

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  F50チャック-
  
  100mm

  2インチ、3インチ、4インチウエハー用F50チャック

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  F50チャック-
  
  200mm

  4インチ、5インチ、6インチ、200mmウエハー用F50チャック

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  F50チャック-
  
  300mm

  4インチ、5インチ、6インチ、200mm、300mmウエハー用F50チャック

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  F50チャック-
  
  450mm

  4インチ、5インチ、6インチ、200mm、300mm、 450mmウエハー用F50チャックアセンブリ

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  F50チャック-
  
  カスタム

  F50用特注チャックも通常4週間以内にご利用いただけます。

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  F60チャック-
  
  200mm

  4インチ、5インチ、6インチ、200mmウエハー用F60チャック

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  F60チャック-
  
  300mm

  4インチ、5インチ、6インチ、200mm、300mmウエハー用F60チャック