F60-cシリーズ

生産現場向け自動カセットtoカセット薄膜膜厚測定システム

Filmetrics® F60-cファミリーは、F50と同様にフィルムの厚みと屈折率を測定しますが、生産現場に特化した多くの機能を備えています。例えば、自動ノッチ検出、自動オンボードベースライン、モーションインターロック付き密閉型測定ステージ、プリインストールソフトウェア付き産業用コンピューター、カセットtoカセットのロボットによるウェハーハンドリングなどです。F60-cは、フィルメトリクス社の膜厚マッピング技術と、KLA Instruments™のの生産管理システムの自動化技術を融合させたものです。

F60-c装置は、主に膜厚と波長範囲によって区別されます。一般的に、より薄いフィルムを測定するにはより短い波長（例：F60-c-UV）が必要であり、より長い波長はより厚く、粗く、より不透明なフィルムを測定することができます。