F50シリーズ

自動マッピング膜厚測定システム

F50は、高精度膜厚測定と高速自動ステージを兼ね備えた自動マッピング膜厚測定システムです。 長寿命 R-Θ モーター駆動ステージとオプションチャックを組み合わせることで、2インチから最大450mmまでのウエハーに対応できます。

同心円、長方形、線形など任意に測定箇所を設定できます。

膜厚など膜の特性に応じて、最適な機種をご利用いただけます。 短い波長の製品群(F50-UV, F50)は薄い膜の測定に、長い波長の製品群(F50-EXRやF50-NIR)は厚膜もしく粗さがあるサンプルの測定に適しています。