付属品:
- 光源一体型分光器ユニット
- 10um 測定スポット径シングルポイント測定ステージ
- FILMeasure8ソフトウエア
- シリコンリファレンスサンプル
- FILMeasure単独ソフトウェア
モデル仕様
| 機種 | 膜厚測定範囲* | 波長範囲 |
|---|---|---|
| F32-s980 | 10µm - 1mm | 960-1000nm |
| F32-s1310 | 15µm - 2mm | 1280-1340nm |
| F32-s1550 | 25µm - 3mm | 1520-1580nm |
膜厚測定範囲 (n=1.5)*
特典:
- 130種類以上のマテリアルライブラリ
- アプリケーションエンジニアのサポート
- インターネットサポート
- ハードウェアのアップグレードプログラム
