Indium Tin Oxide, InSnO屈折率
インジウムスズ酸化物(ITO又はより正確にはインジウム酸化物を添加したスズ) は、非常に良く用いられる透明導電性酸化物(TCO)膜で、合理的には、In2O3とSnO2の合金 として表されます。この材料は紫外線と近赤外線領域の両方において光吸収と共に非常に複雑な屈折率を有します。ITOはほとんどの商用フラットパネルディスプレイとタッチスクリーンに広範囲にわたって用いられています。信頼性があり、広く用いられていますが、ITOを工学的不変材料として呼ぶことは出来ません。個々の製造業者のITO膜は、僅かな反射率の違いから大きな反射率の違いもあります。このような膜の光学的記述を更に複雑にするのは、ITOのよく知られる段階的な屈折率習性です。これはITO膜が100nmを超える膜厚で蒸着する時に特に顕著に見られます。複雑な屈折率は、膜のZ（厚さ)方向に移動すると変化することは極めて明白です。この場合、シンプルな(空間的に独立した)屈折率モデルは分光反射率データを十分に模倣しません。
632.8nmでのITOの典型的なサンプルの 屈折率 と 減衰係数は 1.858と0.058 です。以下は屈折率と減衰係数の完全なファイルです。もしファイルのダウンロードがご利用いただけない場合、“リクエストする”をクリックし当社独自のファイルをリクエストしていただけます。
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波長 (nm)
屈折率参照 - Sopra Material Database
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