F60-cシリーズ

生産現場向け自動カセットtoカセット薄膜膜厚測定システム

Filmetrics® F60-cファミリーは、F50と同様にフィルムの厚みと屈折率を測定しますが、生産現場に特化した多くの機能を備えています。例えば、自動ノッチ検出、自動オンボードベースライン、モーションインターロック付き密閉型測定ステージ、プリインストールソフトウェア付き産業用コンピューター、カセットtoカセットのロボットによるウェハーハンドリングなどです。F60-cは、フィルメトリクス社の膜厚マッピング技術と、KLA Instruments™のの生産管理システムの自動化技術を融合させたものです。

F60-c装置は、主に膜厚と波長範囲によって区別されます。一般的に、より薄いフィルムを測定するにはより短い波長(例:F60-c-UV)が必要であり、より長い波長はより厚く、粗く、より不透明なフィルムを測定することができます。

付属品:

モデル仕様

*膜材料その他の条件により異なります
機種 膜厚測定範囲* 波長範囲
F60-c 20nm-70µm 380-1050nm
F60-c-UV 5nm-40µm 190-1100nm
F60-c-NIR 100nm-250µm 950-1700nm
F60-c-EXR 20nm-250µm 380-1700nm
F60-c-UVX 5nm-250µm 190-1700nm
F60-c-XT 0.2µm-450µm 1440-1690nm
F60-c-s1310 7µm-2mm 1280-1340nm
膜厚測定範囲*

特典:

  • 130種類以上のマテリアルライブラリ
  • アプリケーションエンジニアのサポート
  • インターネットサポート
  • ハードウェアのアップグレードプログラム