F54

顕微鏡式自動マッピング膜厚測定システム

F54は、高精度膜厚測定と高速自動ステージを兼ね備えた自動マッピング膜厚測定システムです。 長寿命 R-Θ モーター駆動ステージとオプションチャックを組み合わせることで、2インチから最大450mmまでのウエハーに対応できて、2箇所の測定時間を1秒以内に短縮できる高速測定も実現しました。

同心円、長方形、線形など任意に測定箇所を設定可能です。 基本的なコンピューターの知識さえあれば誰でも簡単に測定することができます。

パソコンにUSB接続するだけで装置のセットアップは数分で完了。

膜厚など膜の特性に応じて、最適な機種をお選びいただけます。 短い波長の製品群(F54-UV, F54)は薄い膜の測定に、長い波長の製品群(F54-NIR, F54-EXR)は厚膜もしく粗さがあるサンプルの測定に適しています。

付属品:

モデル仕様

*膜厚測定範囲は顕微鏡仕様と膜材料その他の条件により異なります
モデル 膜厚測定範囲* 波長範囲
F54 20nm-40µm 400-850nm
F54-UV 4nm-30µm 190-1100nm
F54-NIR 40nm-100µm 950-1700nm
F54-EXR 20nm-100µm 400-1700nm
F54-UVX 4nm-100µm 190-1700nm
Spot Size 500µm Aperture 250µm Aperture 100µm Aperture 50µm Aperture
5x Objective: 100µm 50µm 20µm 10µm
10x Objective: 50µm 25µm 10µm 5µm
15x Objective: 33µm 17µm 7µm 3.5µm
50x Objective: 10µm 5µm 2µm 1µm

特典:

  • 130種類以上のマテリアルライブラリ
  • アプリケーションエンジニアのサポート
  • インターネットサポート
  • ハードウェアのアップグレードプログラム

主なオプション