お客様事例: EVグループ

以前は数えるほどしか取得できなかった時間で、今では数百の測定が可能になりました。

ギャレット　オークス氏、北米技術責任者、EVグループ

自動測定はシリコンテスト実験室の生産性と情報価値を向上

EVグループはシリコンウエハーボンド、リソグラフィーやナノインプリントリソグラフィー、計測装置、フォトレジスト塗布装置、洗浄剤、検査システムのための製品を提供しています。EVグループのエンジニアは、EVグループの顧客により開発される異なるウエハーの種類やサイズの膜や塗装厚を測定するためのプロセスコントロールプロジェクトをテンペとアリゾナのデモ実験室で行っています。

新方法の膜厚測定を探求

これまでEVグループのエンジニアは、ウエハーの一定の場所から膜を取り除き、光学表面形状測定装置を使い膜厚を測定する“スクラッチテスト”測定方法を利用していました。この方法は時間がかかり、制限されたデータのみ取得が可能で、再現テストを行うことが出来ませんでした。

またエンジニアは様々な顧客の用途に応じたポリマーの膜厚を測定する事が可能なテストシステムを必要としていました。これらの理由からEVグループはフィルメトリクスのF50-EXR膜厚マッピングシステムを捜し求めました。

フィルメトリクスのF50-EXRはより厚く、より荒く、そしてより不透明な膜を測定するために必要な長い波長に対応します。このシステムは天然のシリコン、金属シード層のシリコンウエハー、最小限の扱いにのみ耐用性のある特別材料で作られたウエハーを含む複数の材料の種類と最高300mmまでの複数のウエハーサイズを測定したいEVグループの必要条件に合いました。 EVグループの北米技術責任者のギャレット　オークス氏談"フィルメトリクスシステムの長所は全ての幅のウエハーサイズとポリマー厚を測定し、しかも非常に良く対処することです。"

多様な用途で素早く、正確な測定

フィルメトリクスのF50-EXRはEVグループに様々な利益をもたらしました。

時間短縮　"実験室に誰も使いたがらないような複雑な測定システムを持ってくることを避ける事を望んでいました。フィルメトリクスのシステムは非常に直感的で、エンジニアが非常に短時間でテストを行うやり方を学ぶ事ができます。" オークス氏。フィルメトリクスのテストは自動化されている為、EVグループのエンジニアはテスト中に他の仕事をすることが出来、生産性が向上します。

遠隔アクセスでF50-EXRシステムのテスト結果にアクセスすることが出来る機能により、エンジニアは時間を短縮できます。"以前は数えるほどしか取得できなかった時間で、今では数百の測定が可能になりました。"オークス氏。

再現可能なテスト　再現性によりテストによる測定結果の自信が向上します。"フィルメトリクス製品の自動テストにより、エンジニアは同じウエハー上で複数の測定を容易に行えます。自動化はまたエンジニアが複数のウエハーでサンプル結果測定を確認する時、テストの一貫性を助けます。"オークス氏談。

順応性　 複数のウエハーサイズや種類に対応可能なシステムによりEVグループは幅広い種類の顧客のテストプロジェクトに対応することが出来ます。

総合データ　ウエハー上のより多くの箇所を測定し、目に見える表示と詳細なテスト結果レポートにより、EVグループのエンジニアは製品のデザインや製造工程で顧客の問題を特定する事が出来ます。

オークス氏とEVグループのエンジニアは、独自のデザインや困難な測定テストにおいてフィルメトリクスのアプリケーションサポートの恩恵を受けました。"フィルメトリクスのエンジニアは個々の必要に応じた最適な測定方法を理解させてくれます。“オークス氏談。

EVグループにとってフィルメトリクスF50-EXRでの自動膜厚測定は実験室の生産性を向上し、より優れたサービスにより顧客の満足度を向上させました。